中國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)問世

據(jù)鄭州高新區(qū)管委會(huì)19日消息，近日，在中國(guó)長(zhǎng)城旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院和河南通用智能裝備有限公司科研人員共同努力下，我國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)于近日研制成功，此舉填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國(guó)際領(lǐng)先水平。

中國(guó)長(zhǎng)城副總裁、鄭州軌交院院長(zhǎng)劉振宇介紹，晶圓切割是半導(dǎo)體封測(cè)工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序。與傳統(tǒng)的切割方式相比，激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高、加工效率高等特點(diǎn)，可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。

該裝備通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)加工平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持高穩(wěn)定性、高精度，運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)500mm/S，效率遠(yuǎn)高于國(guó)外設(shè)備。在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平，采用了合適的波長(zhǎng)、總功率、脈寬和重頻的激光器，最終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。

據(jù)介紹，我國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)研制成功，打破了國(guó)外對(duì)激光隱形切割技術(shù)的壟斷，對(duì)進(jìn)一步提高我國(guó)智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。

今年下半年，該裝備將在鄭州市進(jìn)行技術(shù)成果的轉(zhuǎn)化及量產(chǎn)。（石國(guó)慶）